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      ULVAC愛發科 LS 系列 螺桿型干泵 真空泵

      ULVAC愛發科 LS 系列 螺桿型干泵 真空泵
      LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。
      以往要提高排氣速度就要消耗大量電能,我們通過螺桿形狀和節電技術的融合,使該系列產品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。
      在4種機型中,您可根據設備的大小、使用條件及用途選擇最佳排氣容量的泵。

      • 更新時間:2024-05-29
      • 產品型號:LS120A
      • 廠商性質:經銷商
      • 訪  問  量:428
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      聯系電話:0755-22220216

      產品詳情

      ULVAC愛發科 LS 系列 螺桿型干泵 真空泵

      ULVAC愛發科 LS 系列 螺桿型干泵 真空泵


      特點

      大氣壓附近的排氣速度最大為80m3/h,與以往的真空泵相比,排氣時間可縮短約20%。

      ■標配的專用消音器能解決干式真空泵的噪音問題。極限壓力時的噪音值在61dB(A)以下,

       這是一個在運轉過程中也不會打擾到您的噪音等級(*1))

      ■C規格標配的ECO-SHOCK技術是一種省電的愛發科技術。

       該技術可將極限壓力下的消耗電量降到0.6kW以下(*2)

      ■LS系列無需軸封氣體。以氮氣和空氣等的排氣為主的清潔工藝可降低運行成本


      用途

      LS系列有兩種規格。

      首先是面向清潔工藝的規格。

      為內置ECO-SHOCK的低功耗型,適于空氣排氣和N2排氣等清潔工藝用途。

      具體來說,包括濺射、鍍膜、貼合/load lock室/TMP輔助等。


      其次是面向輕工藝的規格。

      具有表面處理和凈化功能,適于水蒸汽和揮發性藥液排氣等輕工藝用途。

      具體來說諸如真空干燥、冷凍干燥、灰化和一般工業用途等。


      規格

      型號(C:C式樣)
      (L:L式樣)
      LS120ALS300ALS600ALS1200A
      CLCLCLCL
      最大排氣速度m3/h1203806001000
      到達壓力Pa≦0.6≦0.1
      電源電壓200V級:3相、50/60Hz、AC200-240V 或 400V級:3相、50/60Hz、AC380-480V
      消費電力
      概略值 *1
      kW0.62.01.02.51.32.61.32.7
      冷卻水量L/min>2.0>4.0
      Purge gas 量 *2SLM0~500~500~500~50
      最大水蒸氣
      處理量 *3
      kg/h1.51.51.51.5
      噪音值*1dB(A)61616264
      吸氣口KF50(水平)/
      VG50(垂直)
      ISO-F-50ISO-F-80ISO-F-100
      排氣口KF40KF40KF40KF40
      質量kg142220242266
      適用規格CE、cTUVus
      標準附屬品電源用連接器、防水電纜夾、信號用連接器、電源連接保護器
      本體選配件電源電壓:200V級或400V級、密封部材質:全氟彈性體(僅用于L型)



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