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ULVAC愛發科多級羅茨型干泵真空泵

ULVAC愛發科多級羅茨型干泵真空泵
通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵

更新時間：2024-05-29
產品型號：UR600
廠商性質：經銷商
訪問量：337

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聯系電話：0755-22220216

產品詳情

ULVAC愛發科多級羅茨型干泵真空泵

特點

高溫區域均熱化

實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出。

UR系列可比HR系列更加高溫化。

氦氣密封

通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構，非常安全。

瞬停對策

采取了1000msec以內瞬停對策。

出色的耐腐蝕性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內部的腐蝕。

通信功能

可讀取與泵運轉狀態相關的數據、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現集中監控。

用途

CVD裝置

蝕刻裝置

灰化裝置

ALD、ALH 等

規格

型號		UR421-T	UR600	UR1200	UR1800	UR3601-TT
使用泵	干式真空泵	UR421-T	UR90	UR90	UR180	UR421-T
	機械增壓泵	-	PRC-006A	PRC-012A	PRC-018A	PRC-036C-T
最大排氣速度	50Hz	410 m³/h (6833 L/min)	653 m³/h (10883 L/min)	1012 m³/h (16867 L/min)	1701 m³/h (28350 L/min)	2700 m³/h (45000 L/min)
到達壓力		5.0 Pa
最大排氣壓力（吸入圧力）		大氣壓
最大排氣口壓力（排出圧力）		1.0~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規格)		VG100	VG80(NW80)	VG100(NW100)	VG150(NW100)	VG150
排氣口		VG50	NW40			NW50
質量		415 kg	370 kg	403 kg	553 kg	720 kg
電源 *2	三相	180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz)	200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz)			180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz)
電流值	穩定時	23 A(at 200V)	16.4 A(at 200V)	18.9 A(at 200V)	29.2 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)	39.8 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)
	最大值	52.5 A(at 200V)	17.3 A(at 200V)	22. 4 A(at 200V)	34.9 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)	68.3 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)
冷卻水一次壓力		0.2~0.5 Mpa	0.1~0.3 Mpa			0.2~0.5 Mpa
冷卻水出入口壓差		>0.2 Mpa	>0.1 Mpa	>0.1 Mpa	>0.1 Mpa	>0.2 Mpa
冷卻水流量		>5.0 L/min
吹掃氣	一次壓力	0.1~0.5 Mpa
	二次壓力	0.05~0.1 Mpa
N2吹掃	軸	5 SLM
	氣鎮	0~195 SLM	0~45 SLM		0~195 SLM	0~195 SLM

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