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      ULVAC愛發科 MS 系列 螺桿型干泵 真空泵

      ULVAC愛發科 MS 系列 螺桿型干泵 真空泵
      MS系列是螺桿型干式真空泵。
      在傳統的LS系列的基礎上,提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。
      該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設計。

      • 更新時間:2024-05-29
      • 產品型號:MS120A
      • 廠商性質:經銷商
      • 訪  問  量:309
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      產品詳情

       ULVAC愛發科  MS 系列 螺桿型干泵 真空泵

       ULVAC愛發科  MS 系列 螺桿型干泵 真空泵


      特點

      通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理,以防腐蝕。

      采用ULVAC設計的轉子軸,實現高性能的排粉。

      從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區域連續運行。


      用途

      半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統,如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。

      真空熱處理爐真空排氣系統,如燒結爐、滲碳爐等。

      鋰電池制造設備真空排氣系統,如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。

      醫療食品設備相關的真空排氣系統,如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。


      規格

      型號MS120AMS600AMS1200A
      最大排氣速度 *1m3/h115560980
      到達壓力Pa≦0.6≦0.1
      電源電壓200V Class:3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class:3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
      消費電力概略值 *2kW2.43.13.1
      冷卻水量L/min>4.0
      Purge gas量 *1SLM0~50
      最大水蒸氣處理量 *1*3kg/h1.5
      噪音值 *1dB(A)616264
      吸氣口KF50(Horizontal) / VG50(Vertical)ISO-F-80ISO-F-100
      排氣口KF40
      質量 *4kg139241264
      適用規格CE、cTUVus


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