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琳得科LINTEC 高速響應質量控制器流量計

琳得科LINTEC 高速響應質量控制器流量計 MC-7000C
池田屋實業優勢供應，并提供報價圖片

更新時間：2025-02-14
產品型號：MC-7000C
廠商性質：經銷商
訪問量：138

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聯系電話：0755-22220216

產品詳情

琳得科LINTEC 高速響應質量控制器流量計 MC-7000C

池田屋實業(深圳)有限公司成立于2015年，位于廣東省深圳市，是一家從事中日貿易的企業。

公司經過多年的發展，已整合多方海外廠商渠道，有穩定的合作關系，為企業提供售賣、維修、售后等一系列節能降本的服務。

池田屋主要經營日本科學儀器設備、實驗室儀器、各類檢測儀器、測量儀器、食品設備、光學設備、精密傳感器等各類工業流通產品。

公司擁有專業的銷售團隊、技術團隊、*的管理團隊，通過全體員工的不懈努力，憑借在工業品領域的專業水平和成熟技術，

服務于電子消費類、半導體，液晶光電，汽車業、造船業、地鐵、等專業用戶里的世界500強企業。

高速響應質量流量控制器

響應時間為 200 毫秒的超高速質量流量控制器。

熱傳感器實現100毫秒（典型值）的高速流量控制。 Lintec 的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥可以實現腐蝕性氣體的超高速流量控制。

流量精度高，可達±1.0%SP，數字通信方式可選擇DeviceNet或EtherCAT。

使用示例

高速蝕刻工藝

在半導體制造過程中，需要在實現微型化的同時提高產量。對于控制反應氣體流速的質量流量控制器而言，縮短流量控制啟動（上升）時間的需求也日益增加。超高速質量流量控制器[MC-7000]是流量傳感器與被測氣體不接觸的非接觸式熱式流量傳感器，實現了200毫秒的超高速響應。由于是非接觸式，因此可以對腐蝕性氣體的流量測量進行高速流量控制。

規格

_溫度	_最小壓差	_最大壓差	_準確性	_控制范圍	_{最小滿量程}	_{最大滿量程}	_海豹
_5~50℃	_50千帕	_300千帕	_{±1%標準差}	_{2～100%滿量程}	_5SCCM	_20秒	_金

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高速響應質量流量控制器

響應時間為 200 毫秒的超高速質量流量控制器。

熱傳感器實現100毫秒（典型值）的高速流量控制。 Lintec 的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥可以實現腐蝕性氣體的超高速流量控制。

流量精度高，可達±1.0%SP，數字通信方式可選擇DeviceNet或EtherCAT。

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