TORAY東麗 半導體行業專用 多點氧氣濃度計

TORAY東麗 半導體行業專用 多點氧氣濃度計 MS-510

TORAY東麗 半導體行業專用 多點氧氣濃度計 MS-510

多點氧濃度計MS-500/MS-510/SD傳感器系列是利用我們在半導體和電子行業積累的氧濃度計制造技術開發的，

可用于包括真空設備在內的各種設備。
配備了我們的緊湊型氧化鋯傳感器，可以長時間進行穩定和高精度的測量，并且還配備了氧傳感器保護機制，實現了超越傳統產品的耐用性。

另外，通過將氧氣傳感器和轉換器分離，最多可添加8個檢測器，可以同時測量。

操作簡單，是集成到各種處理設備中的最佳氧氣濃度計。

產品特點

主要裝置特點

?最多同時測量8點

使用一臺控制器最多可同時測量 8 點。

（可選添加轉換器/SD傳感器組）

?實現低成本、節省空間

非常適合安裝和集成到批量生產的機器中。

?可選支持

通過將傳輸輸出更改為 LAN 規格，可以從 LAN 連接器進行輸出。

傳感器特點

?對應真空氣氛

這是一種無需采樣的直插式傳感器，即使在真空氣氛中也可以進行測量。

?超快響應

使用單獨的傳感器實現最短的響應。

?高耐久性傳感器

傳感器采用特殊涂層，以實現高耐用性。

?標準等

CE 標志...EN61010-1、EN61326-1
RoHS 指令...EN63000

總體規格

控制器規格

檢測器（轉換器、傳感器）規格