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日本ULVAC愛發科多級羅茨型干泵 LR 系列

日本ULVAC愛發科多級羅茨型干泵 LR 系列
通過低溫區域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

更新時間：2024-05-31
產品型號：LR421-T
廠商性質：經銷商
訪問量：338

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聯系電話：0755-22220216

產品詳情

日本ULVAC愛發科多級羅茨型干泵 LR 系列

特點

低溫區域均熱化（LR系列）

在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

氦氣密封

通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構，非常安全。

瞬停對策

采取了1000msec以內瞬停對策。

出色的耐腐蝕性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內部的腐蝕。

通信功能

可讀取與泵運轉狀態相關的數據、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現集中監控。

用途

成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）

縮短備料下料室的排氣時間

作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機械增壓泵的輔助排氣）

池田屋實業(深圳)有限公司成立于2015年，位于廣東省深圳市，是一家從事中日貿易的企業。

公司經過多年的發展，已整合多方海外廠商渠道，有穩定的合作關系，為企業提供售賣、維修、售后等一系列節能降本的服務。

池田屋主要經營日本科學儀器設備、實驗室儀器、各類檢測儀器、測量儀器、食品設備、光學設備、精密傳感器等各類工業流通產品。

公司擁有專業的銷售團隊、技術團隊、資深的管理團隊，通過全體員工的不懈努力，憑借在工業品領域的專業水平和成熟技術，

服務于電子消費類、半導體，液晶光電，汽車業、造船業、地鐵、等專業用戶里的世界500強企業。

規格

型號		LR60	LR90	LR180	LR421	LR421-T
最大排氣速度	50Hz	62 m³/h (1030 L/min)	112 m³/h (1860 L/min)	183 m³/h (3100 L/min)	440 m³/h (7333 L/min)	440 m³/h (7333 L/min)
	60Hz	80 m³/h (1333 L/min)	126 m³/h (2100 L/min)	237 m³/h (3950 L/min)
到達壓力		5.0 Pa
最大排氣壓力（吸入圧力）		大氣壓
最大排氣口壓力（排出圧力）		1~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規格)		VG50(KF50)	VG80(KF50)		VG100
排氣口		KF40			VG50
質量		180 kg	245 kg	335 kg	415 kg
電源 *1	三相	200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)			180~240 VAC/ 380~440 VAC(50/60 Hz)
電流值	穩定時	6.9 A (at 200V)	11.2 A (at 200V)	18.9 A (at 200V)	20.8 A (at 200V)
	最大值	7.3 A (at 200V)	11.8 A (at 200V)	20.6 A (at 200V)	48.5 A (at 200V)
冷卻水一次壓力		0.1~0.3 MPa			0.2~0.5 MPa
冷卻水出入口壓差		>0.1 MPa			>0.2 MPa
冷卻水流量		>5.0 L/min			>4.0 L/min
吹掃氣	一次壓力	0.1~0.5 MPa
	二次壓力	0.05~0.1 MPa
氮氣吹掃	軸	5 SLM
	氣鎮	0~45 SLM			沒有	0~45 SLM

型號		LR300	LR600	LR1200	LR1800	LR3601	LR3601-T (TT)	LR3601-R	LR3601-TR (TTR)
使用泵	干式真空泵	LR60	LR90	LR90	LR180	LR421	LR421-T	LR421	LR421-T
	機械增壓泵	PRC-03A	PRC-06A	PRC-012A	PRC-018A	PRC-036C	PRC-036C (-T)	PRC-036D	PRC-036D (D-T)
最大排氣速度	50Hz	359 m³/h (5,980 L/min)	653 m³/h (10,900 L/min)	1,012 m³/h (16,900 L/min)	1,701 m³/h (28,350 L/min)	3,200 m³/h(53,333 L/min)
	60Hz	365 m³/h (6,080 L/min)	701 m³/h (11,700 L/min)	1,051 m³/h (17,500 L/min)	1,784 m³/h (29,700 L/min)
到達壓力		0.67 Pa
最大排氣壓力（吸入圧力）		大氣壓
最大排氣口壓力（排出圧力）		1~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規格)		VG80 (KF80)		VG100 (KF100)	VG150 (KF100)	VG150
排氣口		KF40				KF50
MBP表面處理		〇 *1	〇 *1	〇 *1	〇 *1	×	T:× TT:×	×	TR:× TTR:〇
質量		275 kg	370 kg	420 kg	545 kg	660 kg	720 kg	660 kg	720 kg
電源 *2	三相	200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)				180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
電流值	穩定時	7.0 A (at 200V)	12.3 A (at 200V)	13.7 A (at 200V)	21.4 A (at 200V)	31.0 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)		35.4 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)
	最大值	9.6 A (at 200V)	19.0 A (at 200V)	24.2 A (at 200V)	39.8 A (at 200V)	58.4 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)		82.0 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)
冷卻水一次壓力		0.1~0.3 MPa				0.2~0.5 MPa
冷卻水出入口壓差		>0.1 MPa		0.1~0.3 MPa		0.2~0.5 MPa
冷卻水流量		>5.0 L/min				>4.0 L/min
吹掃氣	一次壓力	0.1~0.5 MPa
	二次壓力	0.05~0.1 MPa
N2 吹掃	軸	5 SLM
	氣鎮	0~45 SLM				沒有 *3	0~45 SLM	沒有 *3	0~45 SLM

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