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      技術文章/ article
      
        
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      神港精機SHINKO SEIKI --ICP金屬蝕刻設備
      
            
      更新時間：2024-10-31      瀏覽次數：225
      
            
      
            	 
      神港精機SHINKO SEIKI --ICP金屬蝕刻設備

      這是以納米壓印模具用ICP蝕刻系統“SERIO"的基本結構為基礎，
      針對金屬定制了腔室內部結構和氣體系統的最新蝕刻系統。
      兼容最新的半導體和MEMS工藝，我們實現了Al和Cr的納米級線寬蝕刻。
      與傳統的SERIO相比，它可以蝕刻廣泛的基材和應用，包括除
      Si晶圓之外的基材、藍寶石和GaAs等化合物半導體晶圓、光掩模用玻璃和石英。
      與8英寸晶圓兼容的裝載鎖定類型是標準配置，并且可以根據工藝進行定制，例如加熱臺和更大的腔室。
      與經過驗證的多室系統相結合，可以非常輕松地部署到全面的大規模生產應用中。
      配備多個蝕刻室和一個SWP灰化室，可以實現高產量、一致的金屬膜蝕刻工藝。
      我們使用我們的內部演示機進行過程測試，提供好的硬件和軟件來滿足您的需求。
      我們為半導體、MEMS、光掩模、高頻器件、光子器件等從工藝開發到量產提供可靠的支持。
      
            
      
         	
                                            
        
      
      
      
    
      
  
      

      

 



      
    
      
    	
        
      
        	
            
      
            	
        
                	
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                    	企業名稱：
        池田屋實業(深圳)有限公司
        
                    
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                    	聯系電話：
        0755-22220216
        
                    
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                    	公司地址：
        深圳市龍華區龍華街道松和社區匯食街一巷7號3層
        
                    
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